截至9月5日9:48，上證科創(chuàng)板半導體材料設備主題指數(shù)上漲0.86%，成分股天岳先進上漲5.71%，和林微納上漲3.50%，華興源創(chuàng)上漲2.49%，中船特氣上漲1.75%，艾森股份上漲1.43%。科創(chuàng)半導體ETF（588170）上漲0.80%，最新價報1.14元。流動性方面，科創(chuàng)半導體ETF（588170）盤中換手2.5%，成交1318.69萬元。規(guī)模方面，科創(chuàng)半導體ETF（588170）近2周規(guī)模增長1.19億元，實現(xiàn)顯著增長。份額方面，科創(chuàng)半導體ETF（588170）最新份額達4.65億份。從資金凈流入方面來看，科創(chuàng)半導體ETF（588170）近5天獲得連續(xù)資金凈流入，最高單日獲得4155.78萬元凈流入，合計“吸金”1.09億元，日均凈流入達2188.34萬元。

消息面上，中微公司公告稱，中微公司近日推出六款半導體設備新產品，包括兩款刻蝕設備和四款薄膜沉積設備。

五礦證券認為，伴隨半導體技術發(fā)展，新能源、AI等市場需要，國產化率較低的高端光刻膠、掩膜版、先進封裝材料、前驅體、三/四代半導體在半導體產業(yè)鏈自主可控中扮演的角色越來越重要，市場空間可觀，兼具戰(zhàn)略及商業(yè)價值。

相關ETF：公開信息顯示，科創(chuàng)半導體ETF（588170）及其聯(lián)接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創(chuàng)板半導體材料設備主題指數(shù)，囊括科創(chuàng)板中半導體設備（59%）和半導體材料（25%）細分領域的硬科技公司。半導體設備和材料行業(yè)是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。

半導體材料ETF（562590）及其聯(lián)接基金（A類：020356、C類：020357），指數(shù)中半導體設備（59%）、半導體材料（24%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。